設備名稱

設備型號

工作方式

備  注

催化再生式氬氣凈化機

CZA-B

手動

工作塔一用一備

CZA-C

半自動

工作塔一用一備

CZA-D

手動

工作塔一組

CZA-Z

全自動

工作塔一用一備

原氣要求

純  度

≥99.9%一般瓶裝純氬、液氬、較好的管道氬

雜質要求

O2<1000PPm, H2O<1000PPm

輸出純氣

雜質含量

O2≤0.5PPm

H2O≤2PPm(即露點≤－70℃)

CO+CO2≤0.1PPm

塵埃粒子數（≥0.3μm）3-5個／升

S、P的氧化物≤0.1PPm

純  度

≥99.9998%

工作壓力

0～1.0MPa

處理氣量

1～100Nm3/h  根據用戶需求設計制造

備 注

此系列設備不能除氮，氬氣中除氮應選擇4N/FX系列機型。