設備名稱

設備型號

工作方式

備 注

催化再生式氧氣凈化機

CZO-B

手動

工作塔一用一備

CZO-C

半自動

工作塔一用一備

CZO-Z

全自動

工作塔一用一備

原氣要求

純  度

≥99.9%

雜質要求

烴類≤60PPm，H2≤1000PPm, H2O≤1000PPm

輸出純氣

純  度

≥99.9998%

雜質含量

H2≤0.1PPm；H2O≤2PPm(即露點≤－70℃)；CO2≤0.1PPm；

烴類≤0.1PPm；塵埃粒子數（≥0.3μm）3-5個／升

工作壓力

0～1.0MPa

處理氣量

1～500Nm3/h    可根據用戶需求設計制造